真空壓力計在半導體、鍍膜、科研等精密領域中承擔著關鍵監控任務，其工作環境復雜，易受污染、過壓、電氣干擾等因素影響，導致讀數異常、信號中斷或設備損壞。掌握
問題二：讀數異?；蚱?/div>
多因傳感器污染或校準失效：
讀數偏高：檢查傳感器接口是否被油污、粉塵或工藝副產物堵塞，用無水乙醇或專用清洗劑清潔；
讀數偏低或為零：確認是否處于超高真空區，電離計需預熱；檢查皮拉尼計熱絲是否燒斷；
零點漂移：執行零點校準（在真空泵關閉、系統通大氣時進行）；
線性偏差：使用標準壓力源進行全量程校準，或送計量機構檢定。
問題三：測量值跳動或噪聲大
表明信號干擾或接觸不良：
檢查信號線是否與動力線平行，應分開走線或加金屬屏蔽管并單端接地；
確認接線端子是否松動，重新緊固；
檢查接地是否可靠，接地電阻應<4Ω；
若為數字通信中斷，檢查RS485終端電阻是否匹配，Modbus地址與波特率設置是否正確。
問題四：響應遲緩或無反應
可能為傳感器損壞或氣路堵塞：
檢查壓力接口至真空腔體的管路是否彎折、堵塞或漏氣；
對于電離計，確認燈絲是否點亮，若不亮則更換；
壓阻式或電容式傳感器若長期暴露于大氣或過壓，可能已損壞，需更換傳感器頭。
問題五：過壓損壞
真空計嚴禁承受超過量程的正壓或負壓：
若系統意外通大氣或泵反轉，可能導致傳感器膜片破裂；
解決方法：立即停機，更換傳感器模塊；
預防：加裝壓力截止閥或過壓保護器，防止超壓沖擊。
問題六：繼電器誤動作或不動作
檢查報警閾值設置是否正確；
用萬用表測試繼電器輸出觸點是否導通；
若設定值已到但未動作，可能為繼電器故障或控制邏輯錯誤。
更新更新時間：2025-10-09
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