目前Z為成功并Z實用的微型機電器件-微型傳感器

微型傳感器是目前zui為成功并實用性的微型機電器件，主要包括利用微型膜片的機械形變產生電信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1 mm2以下。

隨著微電子加工技術，特別是納米加工技術的進一步發展，傳感器技術還將從微型傳感器進化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實現許多全新的功能，便于大批量和高精度生產，單件成本低，易構成大規模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。

汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統的各種傳感器的統稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學量傳感器。這些傳感器要么是使司機了解汽車各部分狀態的；要么是用于控制汽車各部分狀態的。

汽車用溫度傳感器主要用于檢測發動機溫度、吸人氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等。溫度傳感器有熱敏電阻式、線繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類型。這三種類型傳感器各有特點，其應用場合也略有區別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應特性較好，但線性差、適應溫度較低。

其中，通用型的測溫范圍為-50℃～30℃，精度為1.5%，響應時間為10 ms；高溫型為600℃～1000℃，精度為5%，響應時間為10ms；線繞電阻式溫度傳感器的精度高，但響應特性差；熱偶電阻式溫度傳感器的精度高，測量溫度范圍寬，但需要配合放大器和冷端處理一起使用。其他已實用化的產品有鐵氧體式溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～120℃，精度為2.0%）、金屬或半導體膜空氣溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～150℃，精度為2.0%，5%，響應時間約20 ms）等。

微型傳感器應用于提高員工工作效率，傳感器通常內置于*，或者放在辦公家具上，它們會記錄員工從辦公桌起立、咨詢其它團隊和舉行會議的頻率。讓數據帶來了難以從其它途徑獲得的有關員工工作情況的見解。為了推動協作和提高員工工作效率，它們正利用相關信息作出大大小小的改變，從確定休息時間，到編排工作小組。傳感器還能夠揭示員工對辦公空間的使用方式。